潔凈廠房是以具有潔凈室和潔凈區(qū)作為重要標志的生產(chǎn)廠房。近年來，以微電子產(chǎn)品為代表的高新技術(shù)發(fā)展迅速，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程對生產(chǎn)環(huán)境要求十分嚴格，電子工業(yè)的潔凈廠房設計需要從各個環(huán)節(jié)嚴格要求，以確保其安全有序運行。本文我們將了解電子工業(yè)潔凈廠房在防火、疏散及電氣設計方面的基本要求。

1、潔凈廠房的耐火等級不應低于二級。

2、潔凈廠房內(nèi)生產(chǎn)工作間的火災危險性，應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016的有關規(guī)定。

3、潔凈廠房內(nèi)防火分區(qū)的劃分，應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016的有關規(guī)定。

丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室(區(qū))，在關鍵生產(chǎn)設備設有火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01％obs／m的高靈敏度早期火災報警探測系統(tǒng)后，其每個防火分區(qū)的最大允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。

4、潔凈室的上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層和潔凈生產(chǎn)層，當按其構(gòu)造特點和用途作為同一防火分區(qū)時，上下技術(shù)夾層的面積可不計入防火分區(qū)的建筑面積，但應分別采取相應的消防措施。

5、潔凈室的頂棚和墻板、技術(shù)豎井井壁的材質(zhì)選擇，應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073的有關規(guī)定。

6、在綜合性廠房的一個防火分區(qū)內(nèi)，潔凈生產(chǎn)區(qū)域與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應設置不燃燒體隔斷設施。不燃燒體隔斷設施應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073的有關規(guī)定。

7、潔凈廠房的安全出口的設置，應符合下列規(guī)定：

（1）每一生產(chǎn)層、每個防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目，應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073的有關規(guī)定；

（2）安全出口應分散布置，并應設有明顯的疏散標志；安全疏散距離應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016的有關規(guī)定。安全疏散用門應向疏散方向開啟，并應設觀察玻璃窗；

（3）丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房，在關鍵生產(chǎn)設備自帶火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01％obs／m的高靈敏度早期火災報警探測系統(tǒng)后，安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍。

  注 對于玻璃基板尺寸大于1500m×1850mm的TFT-LCD廠房，且潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0.02人／㎡，其疏散距離應按工藝需要確定，但不得大于120m。

8、潔凈廠房的潔凈區(qū)各層外墻應設置專用消防口，并應符合下列規(guī)定：

（1）潔凈區(qū)各層專用消防口的設計，應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073的有關規(guī)定；

（2）潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動門以及裝有柵欄的窗，均不應作為專用消防口。

9、潔凈廠房內(nèi)有爆炸危險的房間應靠建筑外墻布置，且不得與疏散安全口(樓梯間)貼鄰。有爆炸危險的房間的防爆措施、泄爆面積等應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016的有關規(guī)定。

1、潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求，應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及設備要求和現(xiàn)行國家標準《供配電系統(tǒng)設計規(guī)范》GB 50052的有關規(guī)定確定。

2、潔凈廠房低壓配電電壓等級應符合生產(chǎn)工藝設備用電要求。帶電導體系統(tǒng)的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地型式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。

3、電子產(chǎn)品生產(chǎn)用主要工藝設備，應由專用變壓器或?qū)Ｓ玫蛪吼侂娋€路供電。對電源連續(xù)性有特殊要求的生產(chǎn)設備、動力設備，宜設置不間斷電源或備用發(fā)電裝置等。在潔凈室(區(qū))內(nèi)宜設置獨立的檢修電源。

4、潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)(含制冷機)，應由變電所專線供電。

5、潔凈廠房的電源進線(不包括消防電源進線)應設置手動切斷裝置，手動切斷裝置宜設置在潔凈室(區(qū))外便于操作管理的場所。

6、潔凈室(區(qū))內(nèi)的配電設備，應選擇不易積塵、便于擦拭的小型、暗裝設備，不宜設置落地安裝的配電設備。配電設備宜設置在下技術(shù)夾層，并應在頂部設擋水設施。

7、潔凈廠房的電氣管線宜敷設在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，宜采用低煙、無鹵型電纜，穿線導管應采用不燃材料。潔凈生產(chǎn)區(qū)的電氣管線宜暗敷，電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設備與墻體接縫處應采取密封措施。

8、潔凈廠房內(nèi)，可燃氣體或液體的儲存、分配間的電氣設計，應根據(jù)可燃氣體或液體的特性確定，并應符合現(xiàn)行國家標準《爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范》GB 50058的有關規(guī)定。

1、潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用房間一般照明的照度值宜為300～500 lx；輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200～300 lx。

2、對照度有特殊要求的電子產(chǎn)品生產(chǎn)部位應設置局部照明，其照度值應根據(jù)生產(chǎn)操作的要求確定。

3、潔凈廠房備用照明的設置應符合下列規(guī)定：

（1）潔凈室(區(qū))內(nèi)應設備用照明；

（2）備用照明宜作為正常照明的一部分，且不應低于該場所一般照明照度值的20％；

（3）備用照明的電源宜由變電所專線供電。

4、潔凈廠房內(nèi)應設置供人員疏散用的應急照明，其照度不應低于5.0lx。在安全出入口、疏散通道或疏散通道轉(zhuǎn)角處應設置疏散標志。在專用消防口應設置紅色應急照明指示燈。

5、潔凈室(區(qū))內(nèi)照明光源，宜采用高效熒光燈。對有感光度要求的生產(chǎn)場所，宜采用黃色光源。

6、潔凈室(區(qū))內(nèi)一般照明燈具的選擇與布置，應符合下列規(guī)定：

（1）潔凈室(區(qū))內(nèi)宜采用吸頂明裝、不易積塵、便于清潔的潔凈燈具；

（2）空氣潔凈度等級嚴于或等于5級的潔凈室(區(qū))，宜采用淚珠型燈具；

（3）當采用嵌入式燈具時，其安裝縫隙應采取密封措施；

（4）潔凈室(區(qū))內(nèi)燈具的布置，不應影響氣流流型，并應與送風口協(xié)調(diào)布置。

1、潔凈廠房內(nèi)應設置通信設施，通信設施的設置應符合下列要求：

（1）潔凈室(區(qū))內(nèi)應設置內(nèi)外聯(lián)系的通信設施。每個工序宜設置有線語音插座；

（2）潔凈室(區(qū))內(nèi)設置的無線通信系統(tǒng)，不得對電子產(chǎn)品生產(chǎn)設備造成干擾；

（3）數(shù)據(jù)通信裝置應根據(jù)管理及電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的需要設置；

（4）通信線路宜采用綜合布線系統(tǒng)，綜合布線系統(tǒng)的配線間不應設在潔凈室(區(qū))內(nèi)。

2、潔凈廠房應設置火災自動報警系統(tǒng)，其防護等級應符合現(xiàn)行國家標準《火災自動報警系統(tǒng)設計規(guī)范》GB 50116的有關規(guī)定。當防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016規(guī)定的最大建筑面積允許值時，保護等級應為一級。

3、潔凈廠房的消防控制室不應設在潔凈室(區(qū))內(nèi)。消防專用電話總機的設置應符合現(xiàn)行國家標準《火災自動報警系統(tǒng)設計規(guī)范3GB 50116的有關規(guī)定，并應在下列場所設置消防專用電話：

（1）潔凈室(區(qū))的入口處；

（2）應急處理中心；

（3）中央控制室；

（4）特種氣體管理室。

4、潔凈廠房內(nèi)火災探測器的設置應符合下列規(guī)定.

（1）潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層、機房、站房等均應設置火災探測器，其中潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層應設置智能型探測器；

（2）當潔凈廠房防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016的規(guī)定時或頂部安裝點式探測器不能滿足現(xiàn)行規(guī)范設計要求時，在潔凈室(區(qū))內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風前的回風氣流中應設置靈敏度嚴于0.01％obs／m的早期煙霧報警探測器；

（3）硅烷儲存、分配間(區(qū))，應設置紅外線-紫外線火焰探測器；

（4）潔凈生產(chǎn)區(qū)、走道和技術(shù)夾層(不包括不通行的技術(shù)夾層)應設置手動報警按鈕和聲光報警裝置。

5、潔凈廠房應設置火災自動報警及消防聯(lián)動控制?？刂圃O備的控制及顯示功能應符合現(xiàn)行國家標準《火災自動報警系統(tǒng)設計規(guī)范》GB 50116的有關規(guī)定，潔凈室(區(qū))火災報警應進行核實，當確認火災后，在消防控制室應對下列各項進行手動控制：

（1）關閉有關部位的電動防火閥，停止相應的凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風機、排風機和新風機，并接收其反饋信號；

（2）啟動排煙風機，并接收其反饋信號；

（3）在消防控制室或低壓配電室，手動切斷有關部位的非消防電源。

6、潔凈廠房內(nèi)下列場所應設置氣體泄漏報警裝置：

（1）易燃、易爆、有毒氣體的儲存分配間(區(qū))；

（2）易燃、易爆、有毒氣體的氣瓶柜和分配閥門箱內(nèi)；

（3）工藝設備的氣體分配箱和排風管內(nèi)。

7、潔凈廠房內(nèi)氣體報警裝置的聯(lián)動控制，應符合下列規(guī)定：

（1）應自動啟動相應的事故排風裝置；

（2）應自動關閉相關部位的進氣閥；

（3）應自動關閉相關部位的電動防火門、防火卷簾門；

（4）報警信號應發(fā)送至消防控制室和氣體控制室。應自動啟動泄漏現(xiàn)場的聲光警報裝置和應急廣播。

8、潔凈廠房內(nèi)易燃、易爆、有毒氣體泄漏報警值應為其爆炸下限值或允許濃度值的20％。

9、潔凈廠房設置的事故應急廣播系統(tǒng)應符合現(xiàn)行國家標準《火災自動報警系統(tǒng)設計規(guī)范》GB 50116的有關規(guī)定。潔凈室(區(qū))內(nèi)應采用不影響空氣潔凈度等級的揚聲器。

10、潔凈廠房內(nèi)的安全保護系統(tǒng)應設置應急電源。

11、潔凈室(區(qū))火災報警、氣體泄漏報警系統(tǒng)的控制、通訊和警報線路應采用阻燃型電纜，電纜敷設應符合現(xiàn)行國家標準《火災自動報警系統(tǒng)設計規(guī)范》GB 50116的有關規(guī)定。

12、潔凈廠房內(nèi)的各類安全保護系統(tǒng)均應可靠接地，系統(tǒng)接地應符合現(xiàn)行國家標準《火災自動報警系統(tǒng)設計規(guī)范》GB 50116的有關規(guī)定。

1、潔凈廠房的自動控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡結(jié)構(gòu)，并應具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴展性。

2、潔凈廠房應對凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應等系統(tǒng)進行自動監(jiān)控。

3、潔凈室(區(qū))內(nèi)外的壓差監(jiān)測，宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室(區(qū))的送風量或回風量。

4、凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時，電加熱器與風機應聯(lián)鎖控制，并應設置無風、超溫斷電保護；當采用電加濕器時，應設置無水、無風斷電保護。

5、在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對風機、水泵等動力設備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。

1、功能性接地、保護性接地、電磁兼容性接地、建筑防雷接地宜采用共用接地系統(tǒng)。接地電阻值應按其中最小值確定，且不應大于1Ω。

2、當電子設備的功能接地要求分開設置時，應設有防止雷電反擊設施。分開設置的接地系統(tǒng)接地極應與共用接地系統(tǒng)接地極保持20m以上的間距。

3、潔凈廠房防雷接地設計應符合現(xiàn)行國家標準《建筑物防雷設計規(guī)范》GB 50057的有關規(guī)定。